本发明提供了一种原子力探针的制备方法，属于微纳加工与精密测量技术领域。本发明方法包括：通过转移而非生长的方式，将微米或者纳米尺度的针尖材料与悬臂材料集成，其中针尖材料的表面或者亚表面存在有纳米图形结构的掩膜层；利用刻蚀方法进行图案转移，...

本发明是一种扫描探针成像的方法及其装置，属于精密测量技术领域。本发明装置包含：可相对移动的载具平面与样本台，反馈控制系统，数据处理与存储系统，电源与运动控制系统和参考时钟；探针阵列固定在载具平面，待检测样本固定在样本台的压电扫描台上。本...

本发明公开了一种扫描探针光刻的方法及其装置，属于微纳加工技术领域。本发明装置包括固定在面形可调的载具上的探针阵列，与载具之间距离角度可调的样本台，反馈控制系统，电源与运动控制系统，数据处理与存储系统等。本发明方法包括：在样本不同的空间位...