基于无线能量传输的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、无线能量发射装置、无线能量接收装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台...