公开了一种可以有效地移除形成在晶片上的低ｋ材料的激光处理设备和方法。本发明的激光处理设备是处理其上形成有低ｋ材料的对象的激光处理设备。该激光处理设备包括发射激光光束的激光生成单元；以及光学系统，其将从激光生成单元发射的激光光束分割成两个...

公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备，能有效地加工物体。本设备包括：发射激光束的激光发生器；在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜，它反射从激光发生器入射其上的激光束；和透镜，该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后，使该激光束照...

本发明公开了一种激光加工装置，用于使加工物体时生成的碎屑最少并提高加工效率。该激光加工装置包括：发射来自激光源的激光束的束照射器；束扫描器，用于操作从所述束照射器发射的激光束，将其笔直地重复照射在物体的加工位置的预定间隔上；以及会聚透镜...

公开了通过一个多面反射镜提高目标处理效率的一种激光处理设备及方法。该激光处理设备包含一个激光发生器，输出具有预定直径的激光束；一个多面反射镜，具有多个反射面，绕一个轴旋转，以反射来自激光发生器的入射到反射面上的激光束，其中设置反射面的数...

一种按照本发明实施例利用多面反射镜多重加工物体的方法，包括：设置有多层结构的物体的各层的加工参数；按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体的所有各层；和若在确定步骤中确定不是...