一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它包括： 第一支杆，定位成沿与基片的中心线平行并相对该中心线偏置的第一支承接触线支承基片的一侧； 第二支杆，定位成沿与基片的上述中心线平行并相对该中心线偏置的第二支承接触...