恩斯克里普特公司专利技术

恩斯克里普特公司共有1项专利

  • 一种在基板上沉积材料的方法包括提供具有至少一个材料分配器的装置。该方法还包括将尖端放置在预设的写入间隙处,所述预设的写入间隙距基板上方的距离大于75微米。该方法还根据被分配的线高和被分配的线宽参数,提供对所述材料通过所述出口的流动速度以...
1