本公开涉及一种调节装置，包括：喷射器，用于将蒸汽喷射到旋转的抛光垫上；以及喷射器支架，支撑所述喷射器。所述喷射器包括用于向所述抛光垫喷射所述蒸汽的多个喷嘴和用于加热多个所述喷嘴的喷嘴加热器。所述喷嘴加热器将多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫...

本发明公开了一种抛光垫以及制备所述抛光垫的方法，所述抛光垫包括由抛光层、粘合层和缓冲层组成的层压体，其中所述缓冲层的吸水率为100％或更低。率为100％或更低。率为100％或更低。