本发明公开了一种可调谐射频装置，比如移相器和滤波器，是通过在衬底上沉积薄膜层并使用各种光刻技术来对这些薄膜层构图来形成的。一层金属薄膜层被构图来形成多个电容器和电感器，并留下至少两个紧临这些电容器和电感器的接地区。由于这些接地区的构图部...