一种ｄｃ电源（２８）的起弧增强电路（３８），在高阻抗下产生高压引燃等离子体。（３８）有多个二极管桥路。（２８）的变压器次级经隔离电容器接到各二极管桥路的ａｃ输入，其ｄｃ端串联，叠合电压加到等离子体室的输入端子。二极管桥路还各有一储存电容...

一种折叠取样探头，供检测等离子体射频电压和电流用。这种探头采用取样频率低于射频基频的取样信号以产生折叠频率远低于射频基频的折叠波形。在一个实施例中，射频功率是在１３．５６兆赫（图３Ａ）下加上去的。取样脉冲的取样频率为２．７３２兆赫（图３...

一种直流溅镀工艺应用脉冲化直流电压，在多数情况下，反向偏压脉冲部分将减少或消除飞弧的源。如果机械飞弧检测器（３０）检测到所加电压连续两个周期落入飞弧的特征范围，则将所加电源中断一段期间，并加上反向偏压。过压检测和箝位电路（３６），如果连...