本发明提供一种在硅基板中形成结隔离、导电通道的方法，以及将电信号从硅晶片的一侧传送到另一侧的导电设备。通过用不同于硅基板材料的掺杂物扩散通道，导电通道与硅基板的主体结隔离。在硅基板以及连接到第二硅基板的硅晶片中可以形成几个结隔离通道，该...

提供一种将机械移动转换为电输出的压阻应变集中器和用于生产该集中器的过程。该装置包括应变检测结构，该结构具有跨过基板中的间隙的压阻应变元件。该应变检测结构支承在同样跨过该间隙的应变集中结构上，该间隙具有延伸至间隙基部处的横截面的垂直壁，两...