一种方法包括：提供包括一个或多个电子结构的基板；提供覆盖所述一个或多个电子结构的钙钛矿层；涂覆覆盖所述钙钛矿层的光致抗蚀剂材料层；将掩模与所述一个或多个电子结构对准并图案化所述光致抗蚀剂材料；以及使用相同的蚀刻剂去除所述图案化的光致抗蚀...