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恩逼真股份有限公司专利技术
恩逼真股份有限公司共有1项专利
光路改变单元、模块和方法及检测半导体基板的装置制造方法及图纸
根据本发明实施例的光路改变单元是其中从光源发出的光经过固定物体入射到图像传感器上的单元,光路改变单元允许图像传感器基于入射光获取具有第一分辨率的第一图像,其中基于第一图像提取具有第二分辨率的第二图像,第二分辨率高于第一分辨率。
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