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EM萨克斯专利技术
EM萨克斯共有1项专利
用于选择性移除沉积膜的多孔剥离层制造技术
多孔剥离层帮助从诸如半导体的表面移除膜。在图案化的多孔层之上施加膜,该层包括典型地比膜厚度大的开孔。然后从不想要有膜的区域移除多孔材料和膜。该多孔层可提供为浆液,干燥该浆液以打开孔隙;或者提供为在一范围内当施加热或溶剂时便会解离的临时性...
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