本发明涉及超疏水性二氧化硅气凝胶粉末，由于所述粉末介电常数足够低、比表面积大、导热率小、密度低及孔隙率高，故所述粉末可提供一种轻质隔热体。

本发明涉及一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定在所...