本发明涉及歧化至少一种卤代硅烷，并减少该至少一种卤代硅烷中和所获至少一种硅烷中外来金属和/或含外来金属的化合物的含量的方法，包括在一个步骤中令至少一种式（I）,HnSiClm,的卤代硅烷，其中n和m是整数，且n=1,2或3并且m=1,2...