本发明涉及用于具体是涡轮分子泵的真空泵的转子盘，其具有内环(12)。内环(12)连接到径向向外地延伸的多个叶片单元(16)，根据本发明，内环(12)具有至少一个伸缩接头(30)。为了组装，如果适用，内环(12)被扣环(32)围绕并且布置...

本发明涉及包括真空泵(10)的真空泵系统，该真空泵具体为螺杆泵的形式。所述系统用于排空腔室(16)。当达到腔室(16)中的期望的设定压强时，可以以待机模式来操作所述真空泵系统。为此，出口导管(22)经由旁路导管(24)连接到入口导管(3...

一种用于冷冻制冷机的冷头，包括置换器(72，76)，其被安装在壳体(34，36)的工作腔室(38，40，46)中。冷头也具有用于供应高度压缩的制冷剂的高压连接(64)和用于排放膨胀的制冷剂的低压连接(60)。还提供用于控制制冷剂的供应和...

一种用于加速真空泵的控制方法，所述真空泵具体为涡轮分子泵，其具有电机和控制装置，其中在第一加速阶段中，所述控制装置的输入电流增加至最大值Is,max，并且在第二加速阶段中，所述控制装置被操作在所述输入电流的最大值Is,max。

一种用于真空泵的转子装置，包括转轴(10)和在转轴(10)上的至少一个转子单元(12)。根据本发明，至少一个转子单元(12)包含铝、钛和/或CFRP，而转轴(10)包含铬镍钢。这使得尤其可以使用压制工艺在室温下将至少一个转子单元(12)...

在将真空区域(18)与大气压强下的区域(20)隔离的隔板(16)中，提供管脚(24)作为电流引入端。管脚(24)被镶铸在例如玻璃(26)中。根据本发明，插入式插头(28)被布置在隔开的载板(30)上，以便阻止力或张力被感应进玻璃内，而该...