本发明公开了一种基于物联网的真空镀膜设备实时监控系统，涉及工业设备监控技术领域。包括：多源数据采集模块，用于通过集成部署在真空镀膜设备上的多类型传感器阵列，实时采集真空镀膜设备运行过程中的高维异构工艺参数，所述工艺参数包括真空度、腔体温...