本申请公开了一种晶圆中心化对位治具，包含第一限位组件。第一限位组件具有第一中空本体、复数个第一限位件与第一中空板体。各第一限位件可径向移动地嵌设在第一中空本体，第一中空板体可相对第一中空本体移动，且第一中空板体的顶面接触各第一限位件的底...