德沪涂膜设备广东有限公司专利技术

德沪涂膜设备广东有限公司共有1项专利

  • 本发明公开了一种气浮平台和涂布设备,气浮平台包括气浮基台、吹气装置和抽气装置;气浮基台包括多个吹气孔和多个抽气孔,吹气孔连通于吹气装置,抽气孔连通于抽气装置,利用吹气孔输出的正气压和抽气孔输出的负气压相结合以实现对气浮基台上方基板的无接...
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