一种用于在等离子体加速器装置（200）中提供气体体积（1）的等离子体源装置（100），其包括用于引导气流（2）的毛细管通道装置（10），所述毛细管通道装置具有用于沿偏离所述气流（2）的轴向流动方向的照射方向接收激光（3）的照射端口（10...