成都中微晶体材料有限公司专利技术

成都中微晶体材料有限公司共有1项专利

  • 本发明的实施例提供了一种线圈可调式晶体生长装置及方法,涉及碳化硅晶体生长技术领域,以改善现有技术中通过石英管隔离感应线圈和坩埚时,感应线圈难以适配不同尺寸的坩埚从而降低加热效率的技术问题。该线圈可调式晶体生长装置包括坩埚、环绕设置在坩埚...
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