本实用新型公开一种基于半导体激光－电荷耦合器件的微位移测量装置，涉及一种精密尺寸及微位移的激光非接触测量装置。本实用新型由半导体激光器（Ａ１）、光学装置（Ａ２）、电荷耦合传感器（Ｂ）、信号调理单元（Ｄ）、时间－电压变换单元（Ｅ）、数字表...

本发明公开一种基于半导体激光－电荷耦合器件的微位移测量系统，涉及一种精密尺寸及微位移的激光非接触测量系统。本发明由半导体激光器（ＬＤ）Ａ１、光学装置Ａ２、电荷耦合传感器（ＣＣＤ）Ｂ、ＬＤ驱动电路Ｃ１、ＣＣＤ激励电路Ｃ２、信号调理单元Ｄ、...