本发明公开了一种MPCVD法单晶金刚石籽晶的复制方法，包括以下步骤：（1）将质量较差的单晶金刚石籽晶先进行预处理；（2）将钼基片台置于MPCVD设备的沉积腔内并将预处理后的单晶金刚石籽晶摆在钼基片台上沉积；（3）沉积完成后进行退火刻蚀，...

本发明属于化学气相沉积金刚石膜制造技术领域，具体涉及一种基于MPCVD的嵌套式多晶金刚石复合膜制备方法。本发明所述方法包括分步梯度生长、嵌套式集成工艺等步骤。本发明通过微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）分步生长微米级高硬度层与纳米级...