本发明公开了一种基于应力缓冲结构的超细间距悬臂式探针卡，属于半导体检测技术领域，包括板，基板上通过螺栓固定安装有绝缘板，绝缘板上开设有卡槽，卡槽内滑动连接有橡胶块，橡胶块下端安装有探针，绝缘板上安装有固定板，固定板上开设有滑槽，滑槽内滑...