本技术涉及晶圆表面检测领域，尤其涉及晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置，包括有第一地台；还包括有第一液压推杆和安装台，第一地台的一侧端部安装有连接杆，连接杆的前后端部均安装有安装台，安装台的内侧安装有第二液压推杆，前端部的第二液压推杆的...