奥芯明半导体设备技术上海有限公司专利技术

奥芯明半导体设备技术上海有限公司共有2项专利

  • 一种固晶设备及其工作方法,其中固晶设备包括:晶片台,晶片台用于承载待转移的晶圆,晶圆包括若干晶片,晶片台可带动晶圆平移与旋转,以将晶片依次移动至晶片台上的晶片拾取位;基板台,基板台用于承载基板,基板台可带动基板平移,以将基板上的若干晶片...
  • 一种固晶设备及其工作方法,其中固晶设备包括:晶片台,晶片台具有第一承载面用于承载晶圆,晶片台可带动晶圆移动以将晶圆的若干晶片依次移动至晶片拾取位;基板台,基板台具有第二承载面用于承载基板,基板台可带动基板移动以将基板上的若干晶片粘接位依...
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