本发明公开了一种洁净室用移动工作间，涉及洁净室技术领域，包括工作间本体，所述工作间本体包括有：钢架，所述钢架的内部铺设有墙板、顶板和底板，并通过所述墙板、顶板和底板将钢架密封为仅含有一个开口的空间，所述开口处连接有密封门；所述工作间本体...

本发明公开了一种不规则晶圆的键合减薄方法及系统，涉及半导体领域，包括：获取所述不规则晶圆在所述衬底上的位置图像，基于所述位置图像计算所述不规则晶圆的重心与所述衬底圆心的位置偏差；基于所述位置偏差，移动所述不规则晶圆，使其重心与所述衬底圆...

本发明公开了一种晶圆清洗方法，涉及半导体领域，包括以下步骤：S1：在晶圆解键合后，将晶圆与具有吸附微孔的载盘分离；S2：在分离后的所述晶圆与所述载盘之间设置一隔离部件，所述隔离部件上设有微孔结构；S3：将设置有所述隔离部件的晶圆和载盘重...