本发明公开了一种卧式双面磁控溅射动态镀膜设备及其镀膜方法，包括依次横向设置的上下料台、进出口腔体、加热腔体、离子源腔体、Ti靶溅射腔体、隔离腔体、Cu靶溅射腔体和缓冲腔体，所述上下料台和进出口腔体之间设置有第一门阀，所述进出口腔体与加热...