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安徽安德科铭半导体科技股份有限公司专利技术
安徽安德科铭半导体科技股份有限公司共有2项专利
一种钨化合物、钨前驱体及其合成方法和应用技术
本发明公开了一种钨化合物、钨前驱体及其合成方法和应用,涉及钨化合物技术领域,包括S1:将WO2X2、RNCO和py加入溶剂中混合形成第一混合液;或者将WOX4和RNCO加入溶剂中混合形成第二混合液;S2:将第一混合液进行回流反应,蒸馏得...
一种电子级二碘硅烷的精馏方法及精馏装置制造方法及图纸
本发明公开了一种电子级二碘硅烷的精馏方法及精馏装置,涉及精馏工艺领域,精馏方法包括:装置预处理、进料与脱低沸、减压精馏与主馏分采出和产物收集与釜残处理:具体有S1、氮气置换后抽真空至≤10Pa;S2、负压进料并28‑50℃脱除低沸杂质;...
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