本申请涉及一种用于制造掺杂有稀土离子的氧化铝光波导的方法。本申请进一步涉及一种优选地通过所述方法制造的掺杂有稀土离子的氧化铝光波导。根据本发明，所述方法包括：提供基底；将掺杂有稀土金属离子的氧化铝波导芯层沉积到所述基底上；以及在沉积的波...