下载高纯度高密度WS2层片状纳米结构的制备方法的技术资料

文档序号:9965010

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本发明涉及一种高纯度、高密度WS2层片状纳米结构的制备方法,属于材料制备技术领域。本发明采用真空管式炉,以氧化钨和硫粉为蒸发源,通过热蒸发的方法,在载气保护下,在表面平整、光洁的硅片、砷化镓片、蓝宝石片、碳化硅单晶片或者氧化铝单晶片上,一步...
该专利属于中国地质大学(北京)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(北京)授权不得商用。

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