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本发明提供的一种用于加速氧化硅生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：包括以下重量百分数的组分：氟硅酸或氟硅酸盐类化合物0.1-25％，氨基酸类化合物0.1-15%，铵类化合物0.05-15％，表面活性剂0.001-0.05％，余量为水。...
该专利属于湖洲三峰能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖洲三峰能源科技有限公司授权不得商用。

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