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本发明涉及一种承载和固定TEM样品的金属网，所述金属网的底部为向下弯曲的弧形，所述金属网的顶部设有若干凹槽；每个所述凹槽的侧壁均设置有若干呈阶梯状分布的台阶，且所述台阶沿所述凹槽的侧壁向凹槽内逐渐延伸直至所述凹槽的底部。本发明将TEM样品制...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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