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一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器制造技术
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下载一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器的技术资料
文档序号:9738243
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一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器,包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件,在所述金属弹性元件的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜,周边设置有绝缘层,所述挠曲电介电薄膜上下表面分别设置有上金属电极和下金属电极,所述挠曲电介电薄膜的上金属...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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