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本实用新型提出一种研磨装置,包括研磨平台、粘附于所述研磨平台上的研磨垫、与所述研磨平台下端连接的自转马达和公转马达、位于所述研磨垫上方的研磨吸附器以及研磨液供应器;通过添加自转马达和公转马达带动研磨平台在进行自转的同时也进行公转,所述研磨吸...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出一种研磨装置,包括研磨平台、粘附于所述研磨平台上的研磨垫、与所述研磨平台下端连接的自转马达和公转马达、位于所述研磨垫上方的研磨吸附器以及研磨液供应器;通过添加自转马达和公转马达带动研磨平台在进行自转的同时也进行公转,所述研磨吸...