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本发明是一种双面研磨装置用载具，其特征在于：具有金属制的载具本体和环状的树脂嵌件；该金属制的载具本体，被配设在贴附有研磨布的上磨盘与下磨盘之间，并形成有保持孔，保持孔在研磨时用于保持被夹在所述上磨盘与下磨盘之间的芯片；该环状的树脂嵌件，沿着...
该专利属于信越半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体股份有限公司授权不得商用。

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