下载感光膜的曝光方法及曝光设备的技术资料

文档序号:4319356

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本发明涉及感光膜的曝光方法及曝光设备。一种用于感光膜的曝光设备包括:多个发光二极管,其用于生成光以对感光膜进行曝光;遮光物,其位于所述多个发光二极管之间以防止噪声;载物台,其用于容纳其上具有所述感光膜的基板;以及平行器,其位于所述发光二极管...
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