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一种可控自钳位SensorFET复合纵向功率器件制造技术
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文档序号:4086430
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一种可控自钳位SensorFET复合纵向功率器件,属于半导体功率器件技术和功率集成电路技术领域。本发明将功率变换器的主开关管与SensorFET器件集成于同一P型衬底上,二者采用共用阳极(或共用金属阳极)结构,其中所述SensorFET器件...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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