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有机器件的制造方法及成膜装置制造方法及图纸
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下载有机器件的制造方法及成膜装置的技术资料
文档序号:22061612
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本发明的一个实施方式的有机器件(10)的制造方法具有一边连续运送挠曲性基板(12)、一边在形成于挠曲性基板的主面(12a)的第1电极层(14)上将第1~第N层(N为2以上的整数)连续地成膜的成膜工序,成膜工序中,夹隔着配置于第1~第N成膜源...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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