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本实用新型公开了一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，所述...
该专利属于合肥杰硕真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥杰硕真空科技有限公司授权不得商用。

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