下载一种生长在Si衬底上的(In)GaN纳米管及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:20038610

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本发明公开了一种生长在Si衬底上的(In)GaN纳米管及其制备方法与应用,包括生长在Si衬底上的AlN缓冲层,生长在AlN缓冲层上的(In)GaN纳米管。本发明采用的Si衬底易获得、面积大、成本低、有利于降低器件成本;本发明在Si衬底上生长...
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