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一种鳍式场效应晶体管及其形成方法，方法包括：提供半导体衬底，半导体衬底上具有鳍部，鳍部的侧壁包括第一侧壁区和位于第一侧壁区上的第二侧壁区；在半导体衬底和鳍部上形成层间介质层，层间介质层中具有暴露出鳍部部分侧壁表面和部分顶部表面的开口；在开口...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。