下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:19431074

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供衬底,包括相邻NMOS区域和PMOS区域;分别在NMOS区域和PMOS区域衬底上形成栅极结构;在栅极结构露出的衬底上形成多晶硅互连层;在PMOS区域栅极结构两侧衬底内形成P型源漏掺杂区;向PMO...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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