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体声波谐振器制造技术
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下载体声波谐振器的技术资料
文档序号:19150387
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提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基底;空气空腔,设置在第一电极之下;体声波谐振单元,设置在空气空腔之上,并且包括第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层;第一反射层,设置在第二反射层与第二电极之间;第二反射层,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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