下载一种大面积激光直写制备柔性微型电极电路的方法的技术资料

文档序号:19127067

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本发明公开了一种大面积激光直写制备柔性微型电极电路的方法,属于微电子技术领域。所述方法包括选取基底并对所述基底进行预处理;在预处理后的基底上制备铜膜;使用作图软件设计好需要的微型电极电路图;最后使用激光直接在制备好的铜膜上制备出所设计的微型...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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