下载一种温度补偿声表面波滤波器及其制备方法的技术资料

文档序号:18946604

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本发明提供一种温度补偿声表面波谐振器及其制备方法,所述温度补偿声表面波谐振器包括压电材料基板、位于该压电材料基板上的第一温度补偿材料层,形成在所述压电补偿材料层上的金属叉指结构,形成在所述金属叉指结构上的第二温度补偿材料层。本发明的温度补偿...
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