下载制备导电结构和薄膜晶体管阵列面板的方法的技术资料

文档序号:18792411

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一种在基底上提供导电结构的方法,其包括:在基底上设置下子层,所述下子层包含含有铟和锌的导电金属氧化物材料,其中底部子层中的铟和锌含量基本上定义第一铟与锌含量比;在所述下子层的暴露表面上进行第一次氢处理以在其中引入氢含量;在所述下子层上设置中...
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