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本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀基板分离装置及蒸镀装置，该蒸镀基板分离装置包括：多个顶针机构，每个顶针机构包括：设于载板背离其承载面一侧的支架；设于支架朝向载板一侧的多个顶针，多个顶针绕一垂直于承载面的中心线周向分布，多个顶针中，每个...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。