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一种内腔调控钠流法材料生长反应釜制造技术
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文档序号:18490431
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本发明公开了一种内腔调控钠流法材料生长反应釜,包括釜体和设在釜体内的坩埚,所述坩埚的底面和侧壁分别设有加热器,坩埚中设有内腔体,内腔体中设有晶种,釜体上设有进气口和出气口,坩埚内设有位于内腔体一侧的阀门和阀门驱动装置,阀门与阀门驱动装置连接...
该专利属于东莞理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过东莞理工学院授权不得商用。
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