下载具有沟道区的半导体器件的技术资料

文档序号:18428410

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本发明提供了具有沟道区的半导体器件。一种半导体器件包括:衬底;多个凸出部,所述多个凸出部在所述衬底上彼此平行地延伸;多条纳米线,所述多条纳米线设于所述多个凸出部上并且彼此分开;多个栅电极,所述多个栅电极设于所述衬底上并且围绕所述多条纳米线;...
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