下载一种纳米硅粉制备的加热装置的技术资料

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本实用新型公开了一种纳米硅粉制备的加热装置,包括硅粉输送管道、硅升华通道和等离子电弧加热器。其通过等离子电弧加热器瞬间产生的超高温使硅粉升华成硅蒸汽,以达到纳米硅粉制备过程中加热的工艺要求。本实用新型的优点在于:驱动系统电压可控,等离子电弧...
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